Vergleich der Plasmaparameter induktiv gekoppelter Nieder...
In dieser Arbeit werden die Plasmaparameter eines planar induktiv gekoppelten Argonplasmas im Niederdruckbereich bei der Einkopplungsfrequenz von 27, 12MHz und 2MHz experimentell untersucht und miteinander verglichen. Hintergrund dieser Untersuchungen ist das langfristige Ziel, die Einkopplungseffizienz des verwendeten ICP-Experiments, das mit einer Einkopplungsfrequenz von 27, 12MHz betrieben wird, durch die Verwendung eines aus Ferriten bestehenden ferromagnetischen Schirms zu steigern. Die dafür ...